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赵玉龙教授团队:石英MEMS传感器系列攻关打破国外技术垄断

843    2020-02-10    发布者:中国测试杂志社    来源:

基于微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System, MEMS)技术制作的微型传感器,在工业生产、装备制造、航空航天和消费电子等领域具有广泛的应用。

单晶石英材料具有优秀的压电特性,以及高品质因数、高弹性模量等特性,采用单晶石英制作的石英MEMS加速度传感器、压力传感器和陀螺等,具有高精度、高稳定性、高分辨力等特点,在微型惯性导航系统、姿态测量与控制等领域具有广泛应用,对国民经济和国防安全具有重要意义。



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